特許
J-GLOBAL ID：200903041310790226
紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295537
公開番号（公開出願番号）：特開平6-142971
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【目的】 被加工物の屑(ダスト)を被加工物の表面から効率よく除去することができ、ダストによるレーザ光の散乱、吸収を低減し、レンズへのダストの付着とダストによる傷を防止することができ、更に、レンズと被加工物の両方を十分に冷却することができる紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置を提供する。【構成】 紫外パルスレーザ光1を発生するレーザ発振器10と、紫外パルスレーザ光を焦点2に集光するレンズ12と、レーザ発振器とレンズとの間の光路を気密に囲み、内部が不活性ガスで満たされた導入光ダクト14と、レーザ光の焦点に被加工物3の加工部分を位置決めする移動テーブル16と、レンズと被加工物との間を水密に囲む加工ハウジング18と、被加工物の加工部分に沿ってレンズと被加工物との間に水を流通させる水流通装置20とからなる。
請求項（抜粋）：
紫外パルスレーザ光を発生するレーザ発振器と、紫外パルスレーザ光を焦点に集光するレンズと、前記レーザ発振器と前記レンズとの間の光路を気密に囲み、内部が不活性ガスで満たされた導入光ダクトと、前記レーザ光の焦点に被加工物の加工部分を位置決めする移動テーブルと、前記レンズと被加工物との間を水密に囲む加工ハウジングと、被加工物の加工部分に沿って前記レンズと被加工物との間に水を流通させる水流通装置と、からなることを特徴とする紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/12
, B23K 26/00 320
, B23K 26/00 330
