特許
J-GLOBAL ID：200903041315271618
走査型反射電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269739
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109379
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】 一次電子線を照射した試料表面から反射電子とエネルギー損失電子検出とを一次電子加速電圧に近いバイアス電圧を印加した電子ミラーで分離し、各々の任意のエネルギー電子計測を一次電子線走査に同期して、計測した信号を反射電子像並びにエネルギー損失電子像として、同時にCRT上に描画し、観察が可能な為試料表面の結晶性、組成、電子結合状態を解析出来る。【構成】 電子銃から照射された一次電子線を収束レンズ2で絞り、走査コイル3で加速させ、試料に照射し、弾性散乱電子15と非弾性散乱エネルギー損失電子16を電子ミラー13で分離し各々の電子検出器アナライザー6,8で検出し、各々増幅器で増幅させ、試料表面内分布信号をCRT12,11で反射電子像とエネルギー損失電子像を同時に描画した。【効果】 反射電子像は一次電子運動エネルギーに等しい信号で、これ以下のエネルギー損失電子像とで一次電子走査と同期してCRTに描画させ、結晶電子状態を解析出来る。
請求項（抜粋）：
所定の運動エネルギーを有した一次電子線を試料表面の所定の領域に、所定の角度で照射することにより、前記試料表面から、一次電子自身が弾性散乱によりエネルギーを失なわず反射されてきた反射電子と、一次電子自身が非弾性散乱により、エネルギー損失し、所定の運動エネルギー以下のエネルギーとなったエネルギー損失電子とを生じさせる電子加速・走査・発生部と前記反射電子が直進し、前記反射電子の検出器で検出され、その電子信号は反射電子像としてCRT上に描画される計測・描画部で構成された走査型反射電子顕微鏡において、前記反射電子と、前記エネルギー損失電子が前記試料と前記反射電子の検出器との間で、しかも反射電子線が通過する経路上に設置され、任意の一次電子加速電圧と微小差減の所定のマイナスバイアス電圧を印加された電子ミラーにより分離される電子分離部と、前記電子ミラーで反射され、分離された前記エネルギー損失電子がエネルギーアナライザーよりエネルギー損失分光計測され、任意のエネルギーを持つ電子のみの信号によりエネルギー損失電子像を一次電子線の走査と同期させて、CRT上に描画すると同時に、前記ミラーを透過直進した前記反射電子が前記電子検出器で検出され、その電子信号は反射電子像として一次電子線と同期させて、CRT上に描画される制御・計測・描画部を付加して構成されることを特徴とする走査型反射電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/22
, H01J 37/244
, H01J 37/28
, H01J 37/29
