特許
J-GLOBAL ID：200903041330442399
半導体デバイスの歩留り予測システム、歩留り予測方法、半導体デバイスの設計方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287082
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100548
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：
【要約】【課題】不良部分の救済のための救済回路を備える半導体メモリデバイスについて、発生する不良の種類によって救済が可能かどうかを考慮しながら、モンテカルロ法を用いて実用的に歩留り予測が可能な歩留り予測システムを提供する。【解決手段】予測対象である半導体デバイスは、複数種類の配線12,14,16と、該配線に生じた不良を該不良の種類に応じた方法で救済するための1種以上の救済回路とを含む。この半導体デバイスの上に、仮想的に複数の異物50015等をランダムに投下し、異物のうち配線に不良を発生させる異物の比率を、不良の種類ごとに、演算により求める。予め求めておいた半導体デバイスの製造ラインの異物数と、前記比率とを用いて、不良の種類ごとに歩留りを演算した後、不良の種類ごとの歩留りの積を求めることにより、半導体デバイスの歩留りを演算する。
請求項（抜粋）：
複数種類の配線と、該配線に生じた不良を救済するための1種以上の救済回路とを含む半導体デバイスの歩留り予測システムであって、予測対象である前記半導体デバイスの上に、仮想的に複数の異物をランダムに投下し、前記異物のうち前記半導体デバイスの配線に不良を発生させる異物の比率を演算により求める不良発生比率演算手段と、予め求めておいた前記半導体デバイスの製造ラインの異物数と、前記比率とを用いて、前記半導体デバイスの歩留りを演算する歩留り演算手段とを有し、前記不良発生比率演算手段は、予め定められた前記不良の種類ごとに前記比率を求め、前記歩留り演算手段は、前記不良の種類ごとに歩留りを演算した後、前記不良の種類ごとの歩留りの積を求めることにより、前記半導体デバイスの歩留りを求めることを特徴とする歩留り予測システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, H01L 21/66 Z
4M106AA01
, 4M106AA20
, 4M106AB07
, 4M106BA20
, 4M106CA42
, 4M106CA43
, 4M106CA70
, 4M106DH01
, 4M106DJ17
, 4M106DJ20
, 4M106DJ21
