特許

J-GLOBAL ID：200903041330707309

静電フィルムアクチュエータ

発明者： 新倉 栄二
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-260206
公開番号（公開出願番号）：特開平7-123741
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】 固定子上に可動子を積層することにより、移動子の搬送速度を任意に設定でき、移動子の物性値によらない固定子を得、安定して移動子を搬送できる静電フィルムアクチュエータを得る。【構成】 固定子1上に3極の帯状電極を備えた可動子15を積層しその上面に移動子10を配置する。最上面にある可動子のみ印可電圧の切り換えを行わず一定電圧を印可し、他の可動子と固定子1は印可電圧を切り換える。一定電圧を印可した可動子が移動子10を吸着固定するので、固定子と他の可動子の印可電圧の切り換えで生じる駆動力によって、最上面の可動子は移動子10を吸着したまま搬送するので、移動子の物性値によらずに搬送が可能である。

請求項（抜粋）：

フィルム状の絶縁ベース材の表面に所定のピッチ間隔でもって平行パターン状に形成された少なくとも3極の帯状電極を有する固定子と、この固定子の表面上を移動するフィルム状の絶縁ベース材の表面に所定のピッチ間隔でもって平行パターン状に形成された少なくとも2極の帯状電極を有し、表面に高抵抗体層を備えた複数枚の可動子と、前記複数枚の可動子の最上面で吸着または搬送されるシート状絶縁体の表面に高抵抗体層を備えた移動子からなり、前記固定子または前記可動子の各々の帯状電極へ電圧を印加し切り換えることによって、前記固定子または前記可動子に隣接する前記可動子または前記移動子を浮上させ駆動させる、または、吸着し位置決めを行う手段を具備することを特徴とする静電フィルムアクチュエータ。