露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-124625
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316133
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】露光装置のウエハ上の照度分布を迅速に測定し、且つ照度検出系の設置スペースを縮小する。【構成】レチクルとウエハとを相対的に走査してレチクルのパターンをウエハ上に投影露光する走査型の露光装置において、ウエハが載置されるウエハステージ上にウエハ上の露光領域47の照度を検出する照度むらセンサのスリット状の受光部58を設け、受光部58の走査方向の幅Dを露光領域47の走査方向の幅Lに対して(L+ぼけ幅)/2の大きさで形成する。露光領域47を非走査方向に伸びる分割線Nで走査方向に均等な2つの部分露光領域47a,47bに分割し、受光部58が隣の露光領域に重ならないように走査して部分露光領域47a,47bの照度分布を別々に計測し、それを平均化して露光領域47の照度分布を求める。

請求項（抜粋）：

マスクに形成されたパターンの一部を基板上に投影した状態で、前記マスクと前記基板とを相対的に同期して走査することにより、前記マスクに形成されたパターンを逐次前記基板上に転写露光する走査型の露光装置において、前記基板の走査方向を長手方向として、且つ該走査方向に対して前記マスクに形成されたパターンの露光領域より狭いスリット状の受光部を有する光電検出手段と、前記露光領域に対して前記基板の走査方向に垂直な方向に前記光電検出手段を相対的に移動する相対移動手段と、該相対移動手段により前記光電検出手段と前記露光領域とが相対的に移動している際に前記光電検出手段から出力される光電変換信号を取り込む信号処理手段と、を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02F 1/136 500 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 518 , G02F 1/136 500 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 502 G

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