特許
J-GLOBAL ID：200903041334107560
硬基板塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 文雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-334516
公開番号（公開出願番号）：特開平5-138097
出願日： 1991年11月25日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 ギーサーを使って塗布液を塗布する場合に、硬基板の終端付近に厚塗り部分が発生するのを防止し、製品の歩留まりを向上させる。【構成】 下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に硬基板を挟んで送ることにより、前記硬基板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布装置において、前記硬基板の後縁に残る厚塗り部分の塗布液を吸い取る塗布液吸い取り手段を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に硬基板を挟んで送ることにより、前記硬基板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布装置において、前記硬基板の後縁に残る厚塗り部分の塗布液を吸い取る塗布液吸い取り手段を有することを特徴とする硬基板塗布装置。
IPC (2件)：
B05C 1/02 102
, B05C 11/10
