特許

J-GLOBAL ID：200903041341128807

ダイピックアップ装置

発明者： 赤石 恒史
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ
代理人 (1件)： 相澤 清隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-072210
公開番号（公開出願番号）：特開2003-267309
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ダイピックアップ装置の高速化を図り、スループットの向上を図ること。【解決手段】 回転盤の回転中に供給テーブル上の部品30A、B及びCを含めた少なくとも3個以上の部品を認識カメラで同時に撮像して、この撮像画像に基づき認識処理部で部品30Aの位置を認識すると共に30B及び30Cについては良品か不良品かの検出及び有無の検出をするようにCPUが制御する。この認識結果が30Aが良品である場合には、移動してくる吸着装填ノズルの直下方位置に部品30Aが位置するようテーブルを補正移動させ取出す。取出後に、前記認識処理結果が、部品30Aは良品であるが30Bが不良品か無い場合で且つ30Cが良品である場合には、次の取出しのために30Bをスキップしてテーブルを2ピッチ分移動動作させて、部品30C、D及びEの撮像及び認識処理をするように制御する。

請求項（抜粋）：

ウエハシート上のダイをピックアップするダイピックアップ装置において、前記ウエハシート上のダイを少なくとも3個以上を同時に撮像する認識カメラと、該認識カメラによる撮像画像に基づき認識処理する認識処理装置と、前記撮像された初めにピックアップすべきチップ部品は位置認識し次以降にピックアップすべき複数のチップ部品は良品か不良品かの検出及び有無検出をするように前記認識処理装置を制御すると共に次にピックアップすべきチップ部品が不良品か無い場合には前記認識カメラにより撮像する際には前記ウエハシートと該認識カメラとの相対的位置の移動を1ピッチ分スキップするように制御する制御装置を設けたことを特徴とするダイピックアップ装置。

IPC (6件)：

B65B 15/04 ,  B65B 57/10 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/68 ,  H05K 13/02

FI (7件)：

B65B 15/04 N ,  B65B 57/10 A ,  B65B 57/10 D ,  G01B 11/00 H ,  H01L 21/52 F ,  H01L 21/68 E ,  H05K 13/02 Z

Fターム (34件)：

2F065AA01 ,  2F065AA61 ,  2F065BB01 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ31 ,  5E313AA03 ,  5E313AA23 ,  5E313CC03 ,  5E313CC04 ,  5E313CD05 ,  5E313DD02 ,  5E313DD03 ,  5E313DD23 ,  5E313EE02 ,  5E313EE03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA13 ,  5F031DA15 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA23 ,  5F031HA78 ,  5F031JA04 ,  5F031JA22 ,  5F031KA06 ,  5F031MA40 ,  5F047FA74 ,  5F047FA83

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ピックアップ装置及びピックアップ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-133606   出願人：ニチデン機械株式会社