特許
J-GLOBAL ID：200903041348173093
回折光学素子及びそれを用いた光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-281831
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111408
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 入射光の殆どを隣接する2 つの次数の回折光に分配すると共に、該2 つの次数の回折光の結像点間の間隔を所望の値に設定できる回折光学素子及びそれを用いた光学系を得ること。【解決手段】 回折光学素子において、n を1 以上の整数として各ゾーン(領域)の境界における位相の変化量を(2n+1)πとしている。
請求項（抜粋）：
回折光学素子において、n を1 以上の整数として、各ゾーン(領域)の境界における位相の変化量を(2n+1)πとしていることを特徴とする回折光学素子。
IPC (4件)：
G02B 5/18
, G02B 27/42
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G02B 5/18
, G02B 27/42
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 522 E
