特許
J-GLOBAL ID：200903041357543502
原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321703
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160057
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 探針の形状測定と形状修正とを随時迅速に行うことができ、常に高精度で高能率な試料測定を可能にする。【構成】 試料測定チャンバーA内で探針駆動部3により探針1を試料2に接触させて試料2を測定するが、必要に応じて随時、ステッピングモータ11及びガイドレール12からなる移動機構により探針駆動部3を探針形状測定チャンバーBに移動させ、探針1により標準粒子8の形状を測定して探針1の磨耗状態を測定する。この測定結果に基づいて、探針1の先端形状を修正する必要がある場合は、探針駆動部3を探針形状修正チャンバーDに移動させ、研削工具10により探針1の先端を加工する。この後、探針洗浄乾燥チャンバーCで探針1を洗浄乾燥させ、探針形状測定チャンバーBで探針1の形状測定を再度行い、試料測定チャンバーAで探針1による試料2の測定を再開する。
請求項（抜粋）：
探針を被検査試料に接触させる探針駆動手段を有する試料測定部と、前記探針の先端形状を測定する測定手段を有する探針形状測定部と、この探針形状測定部における測定結果に基づいて、前記探針の先端形状を修正する修正手段を有する探針形状修正部と、前記試料測定部と前記探針形状測定部と前記探針形状修正部との間で、前記探針駆動手段を移動させる移動手段とを具備することを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
