特許
J-GLOBAL ID：200903041357909604
赤外線センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006003
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209089
出願日： 1994年01月24日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 サーミスタ定数の大きな赤外線検知手段を用いることによって、微弱な赤外線をも高精度で測定できる高感度な赤外線センサを提供する。【構成】 本発明による赤外線センサは、空洞部を有し、この空洞部上に形成された絶縁性の薄膜上に半導体材料と金属材料とのショットキー接合による感温部が設けられたセンサ基板と、このセンサ基板の前記空洞部を覆い、前記感温部の周囲を真空に保持する真空封止手段とを備えている。
請求項（抜粋）：
センサ基板に設けられた空洞部上に形成された絶縁性の薄膜部に感温部が設けられ、該感温部は多結晶またはアモルファス状の半導体材料と金属材料のショットキー接合を用いたものであることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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