特許
J-GLOBAL ID：200903041369556030
洗浄装置及び洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-260498
公開番号（公開出願番号）：特開平10-106996
出願日： 1996年10月01日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウエハの製造等に利用される洗浄装置及び洗浄方法に関し、被洗浄基板の両面の同時清浄化と、洗浄液体の有効使用量の節減を目的とする。【解決手段】 上蓋と下蓋とからなり、その合わせ目に排液用隙間を有し、かつ内部に空間を有する洗浄筐体と、上蓋の下面と下蓋の上面の夫々に固着された一対の多孔材と、上蓋と下蓋とを貫通して一対の多孔材の夫々に薬液・純水・加圧ガスの一つを選択的に供給する切換供給部と、上蓋または下蓋の少なく共一方を上下動させる開閉駆動部とを有し、一対の多孔材の間で被洗浄基板を洗浄する。更に一対の多孔材に振動を与える超音波加振部と、被洗浄基板の両面に対し夫々一対の多孔材を圧接自在に駆動する多孔材押圧部とを設けて構成する。これにより、多孔材の夫々を被洗浄基板の両面と所定の空隙を保持して洗浄し、振動を与えた場合は一対の多孔材の夫々を被洗浄基板の両面に圧接して洗浄可能となる。
請求項（抜粋）：
上蓋と下蓋とからなり、該上蓋と下蓋との合わせ目に排液用隙間を有し、かつ内部に空間を有する洗浄筐体と、前記上蓋の下面と前記下蓋の上面の夫々に固着された一対の多孔材と、前記上蓋と下蓋とを貫通して前記一対の多孔材の夫々に薬液または純水または加圧ガスの一つを選択的に供給する切換供給部と、前記上蓋または下蓋の少なくとも一方を上下動させる開閉駆動部とを有し、前記一対の多孔材の間で被洗浄基板を洗浄することを特徴とする洗浄装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/08
, B08B 3/10
, B08B 3/12
H01L 21/304 341 C
, H01L 21/304 341 M
, B08B 3/08 Z
, B08B 3/10 A
, B08B 3/12 Z
