特許
J-GLOBAL ID:200903041374679140
光学装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松隈 秀盛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-190726
公開番号(公開出願番号):特開平9-045996
出願日: 1995年07月26日
公開日(公表日): 1997年02月14日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 ウエーハからの素子の収率を維持したまま、反射型面発光レーザとモニタ用半導体受光素子とをモノリシックに配置形成する。【解決手段】 モニタ用半導体受光素子と反射型面発光レーザとを有する光学装置において、共通の半導体基板1上に、モニタ用半導体受光素子PDと反射型面発光レーザLRとが隣り合って形成され、モニタ用半導体受光素子PDおよび反射型面発光レーザLRの少なくとも一方が半導体基板1面においてL字形状とされて、反射型面発光レーザLRの一方の共振器端面にモニタ用半導体受光素子PDの受光面2が対向する。
請求項(抜粋):
モニタ用半導体受光素子と反射型面発光レーザとを有する光学装置において、共通の半導体基板上に、上記モニタ用半導体受光素子と上記反射型面発光レーザとが隣り合って形成され、上記モニタ用半導体受光素子および上記反射型面発光レーザの少なくとも一方が上記半導体基板面においてL字形状とされて、上記反射型面発光レーザの一方の共振器端面に上記モニタ用半導体受光素子の受光面が対向することを特徴とする光学装置。
IPC (4件):
H01S 3/18
, H01L 27/14
, H01L 31/10
, H01L 31/12
FI (4件):
H01S 3/18
, H01L 31/12 H
, H01L 27/14 Z
, H01L 31/10 A
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