特許
J-GLOBAL ID：200903041375674584
高効率酸素イオン中性化器および高効率酸素イオン中性化器を用いた耐酸素原子性評価装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223597
公開番号（公開出願番号）：特開平6-052997
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 中性化効率が最大となる酸素ガスを選定して最良の地上模擬実験を可能にするとともに効率のよい劣化加速実験を可能とすることを目的とする。【構成】 差動排気室のオリフィスから劣化反応室に流出するガスを最小限とし、かつ、真空排気路を二重構造としたものである。
請求項（抜粋）：
真空排気装置を備えた真空容器中に設置され、酸素イオン(O’)ビームを酸素ガスとの電荷交換によって中性化し、中性酸素原子ビームを生成する酸素イオン中性化器において、前記酸素イオン(O’)ビームの入口側オリフィスと出口側オリフィスを同一直線上に有する中性化室と、この中性化室内に酸素ガスを導入し且つ該酸素ガス導入量を制御するガス流入量コントローラーを有するガス導入管と、前記中性化室を囲み、且つ、該中性化室の前記入口側オリフィスおよび前記出口側オリフィスにそれぞれ対向する入口側オリフィスおよび出口側オリフィスを同一直線上に有する差動排気室と、この差動排気室を真空排気装置に接続し、且つ、前記ガス導入管を囲んで該ガス導入管との間で真空排気路を形成する真空排気管とを備え、前記中性化室の前記入口側および出口側オリフィスのコンダクタンスをC<SB>2</SB> ,C<SB>3</SB> 、前記差動排気室の前記入口側および出口側オリフィスのコンダクタンスをC<SB>1</SB> ,C<SB>4</SB> 、前記差動排気室系統の真空排気装置の実効排気速度をS<SB>1</SB> 、前記真空容器系統の真空排気装置の実効排気速度をS<SB>2</SB> とすると、(C<SB>1</SB> +C<SB>4</SB> )*(C<SB>2</SB> +C<SB>3</SB> )/(S<SB>1</SB> *S<SB>2</SB> )<10<SP>-2</SP>を満たすことを特徴とする高効率酸素イオン中性化器。
IPC (6件)：
H05H 3/02
, B64G 7/00
, G01N 17/00
, G21K 5/02
, C01B 13/02
, H01J 49/42
