特許
J-GLOBAL ID：200903041388444642
表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-055085
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243573
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 簡易な制御の下でCCDカメラをCVケーブルの表面形状の変化に倣わせて、その全面を自動走査可能な簡易な構成の表面検査装置を提供する。【解決手段】 CVケーブルの長手方向に沿って移動可能に設けたステージに支持され、CCDカメラをCVケーブルに対向配置する検査ユニットを、フォーカスステージと、フォーカスステージを支持してCCDカメラをCVケーブルの外周に沿って回転させる回転ステージと、この回転ステージをCVケーブルの軸芯に位置合わせする芯出しステージと、CCDカメラのCVケーブルに対する対向角度を調整可能とするスロープ方向回転ステージとにより構成し、前記フォーカスステージにCVケーブルとの離間距離を計測する複数のセンサを設ける。
請求項（抜粋）：
断面円形をなす長尺形状の被検査物の表面状態を検査する表面検査装置であって、前記被検査物の長手方向に沿って移動可能に設けられた長手方向移動ステージと、この長手方向移動ステージに支持されて前記被検査物の表面状態を画像入力するための撮像手段を前記被検査物に対向配置する検査ユニットとを備えてなり、この検査ユニットは、前記撮像手段を前記被検査物に向けて進退可能なフォーカスステージと、このフォーカスステージを支持し、前記撮像手段を前記被検査物の外周に沿って回転可能な回転ステージと、この回転ステージの回転軸を前記被検査物の軸心に位置合わせする芯出しステージと、前記撮像手段の前記被検査物に対する対向角度を調整可能なスロープ方向回転ステージとを具備し、前記フォーカスステージは前記被検査物の長手方向に離反した位置にて該フォーカスステージの前記被検査物との離間距離をそれぞれ計測する複数のセンサを備えていることを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, H04N 7/18
G01N 21/89 E
, G01B 11/30 A
, G01N 21/88 A
, H04N 7/18 B
