特許
J-GLOBAL ID：200903041389720740
回折格子及び干渉露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-309101
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159609
出願日： 1993年12月09日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 ハ-フミラ-方式のビームスプリッタによる干渉ノイズの発生が抑圧され、高コントラストで大面積にわたって均一な干渉縞をレジスト上に形成できる方法を提供する。【構成】 コヒ-レント光源11から出射した光は対物レンズ12で絞られスペイシャルフィルタ121を通り、コリメ-トレンズ13により平行光となり、回折格子14に入射する。透過した0次光は遮光板15により、遮光され、回折した±1次光は2枚のミラ-16,17により反射されて露光位置Aで重ね合わされて露光される。回折格子14は、中心から、同心円状に周辺部に向かって深さが深くなっていて、コヒ-レント光源の強度分布を補償するごとく回折効率が制御されており、全露光面にわたって均一で高コントラストの干渉縞を形成可能ならしめる。
請求項（抜粋）：
コヒ-レント光源と、空間フィルタリング光学系と、回折格子とミラ-2つと、遮光板とを少なくとも含み、前記コヒ-レント光源から出射した光が、前記空間フィルタリング光学系を通り、前記回折格子に入射し、前記回折格子を透過した0次光は前記遮光板によって遮光され、前記回折格子により回折された±1次光が前記ミラ-により、反射され、重畳して干渉縞を露光することを特徴とする干渉露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 522 D
, H01L 21/30 528
