特許
J-GLOBAL ID：200903041391355910
ダイシング装置およびダイシング用ブレード
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114429
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326185
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 切削屑を確実に洗い流すことができるダイシング装置の提供。【構成】 真空吸着ステージ25上に載置された半導体ウエハ16をノズル45の先端から洗浄液46を吹き付けながらブレード37でダイシングを行うダイシング装置であって、前記ブレード37の両側面には羽根42が設けられている。ブレード37の高速回転によって羽根42は強い風を起こす。この風は切削屑を含むウエハ16上の洗浄液46に作用し、洗浄液46をウエハ16の表面で止めることなく一定の方向に強制的に流すことから、順次発生する切削屑は洗浄液46と共にウエハ表面から外に排除され、ダイシング終了時点のウエハの表面に切削屑が残留することがなくなる。
請求項（抜粋）：
被加工物を載置する真空吸着ステージと、前記被加工物を切削する回転するブレードと、前記切削箇所に洗浄液を吹き付ける洗浄液供給機構とを有するダイシング装置であって、前記被加工物の表面の洗浄液が一定方向に流れるように被加工物の表面に気体を吹き付ける気体吹付機構を有していることを特徴とするダイシング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/78
, H01L 21/304 341
, H01L 21/68
