特許

J-GLOBAL ID：200903041400847022

ポリイミド前駆体及び組成物

発明者： 松岡 嘉夫 ,  河合 慶明 ,  小泉 英夫
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
代理人 (1件)： 野崎 銕也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257582
公開番号（公開出願番号）：特開平6-080776
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【構成】 ポリアミド酸エステルの化学構造を持ち、エステル結合した有機基として、炭素数3以下の炭化水素基と、炭素数4以上の末端エチレン結合を有する基との2種の基を特定の比率を有するポリイミド前駆体、及びこれを含む感光性組成物。【効果】 上記前駆体から高解像度のポリイミドのパターンが得られ、このポリイミドは高い伸度を持ち、基材との接着力に優れ、同時に耐水性が高い。

請求項（抜粋）：

ポリアミド酸エステルの化学構造を有し、エステル結合した有機基の20ないし80モル%が炭素数1ないし3の炭化水素基から選ばれた1種あるいは2種以上の基であり、かつエステル結合した有機基の20ないし80モル%が炭素数4以上の末端エチレン結合を有する基であることを特徴とするポリイミド前駆体。

IPC (6件)：

C08G 73/10 NTE ,  C08F299/02 MRU ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027