研磨方法、研磨装置、研磨加工における加工量算出方法および加工量算出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-087094
公開番号（公開出願番号）：特開2001-269861
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：

【要約】【課題】被研磨体の被研磨面内の各点の加工量を精度よく、かつ、容易に制御可能な研磨装置および研磨方法を提供する。また、被研磨体の被研磨面の各点の加工量を精度良く、かつ、容易に算出可能な研磨加工における加工量算出方法および加工量算出装置を提供する。【解決手段】ウェーハWの被研磨面の目標加工量を達成する、通過速度F、移動速度Vおよび研磨圧力Pとを算出する加工条件算出部105と、算出された通過速度Fとなるようにウェーハを回転し、かつ、ウェーハWと研磨工具8とを相対移動させ、算出された移動速度Vとなるように研磨工具8を回転させ、算出された研磨圧力Pとなるように研磨工具8の研磨面8aをウェーハWの被研磨面に押しつけて、被研磨面の加工を行う加工制御部102とを備える。

請求項（抜粋）：

被研磨体を保持する保持面に垂直な方向に対して回転軸が所定の進行方向に向けて所定角度で傾斜した回転する研磨工具の研磨面を、前記保持面上で回転する被研磨体の被研磨面に押し付けて前記研磨面を前記被研磨面に部分的に接触させ、前記研磨工具と前記被研磨体とを前記保持面に沿って前記進行方向に相対的に移動させ、前記被研磨面の加工を行う研磨方法であって、前記研磨工具と前記被研磨体と前記進行方向の各相対位置と、前記被研磨体の回転数と、前記進行方向の相対移動速度とに応じて規定され、かつ、前記被研磨面の任意の点の加工量と略反比例関係にある、前記研磨面と前記被研磨面との接触部を当該被研磨面が通過する通過速度(F)と、前記研磨工具の回転数によって規定され、かつ、前記被研磨面の任意の点の加工量と略比例関係にある、前記接触部における研磨面の移動速度(V)と、前記研磨面と前記被研磨面との垂直な方向の相対位置によって規定され、かつ、前記被研磨面の任意の点の加工量と略比例関係にある、前記接触部に作用する研磨圧力(P)と、を独立に調整し、前記研磨面の接触部による前記被研磨面の各点の加工量を制御する研磨方法。

IPC (2件)：

B24B 37/00 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 Z , H01L 21/304 622 R

Fターム (12件)：

3C058AA12 , 3C058AA13 , 3C058AA14 , 3C058BA04 , 3C058BA05 , 3C058BA07 , 3C058BB02 , 3C058BB06 , 3C058BB08 , 3C058BB09 , 3C058BC02 , 3C058DA17

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