特許
J-GLOBAL ID：200903041402084425
加速度センサ及び加速度センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
安孫子 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-137413
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304450
出願日： 1995年05月12日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 簡易な構成で複数の軸における加速度及び角加速度の検出が可能な加速度センサを提供する。【構成】 第1及び第2のガラス基板1,2により主枠6の内側に配置された重り11等が挟持されて3層構造をなし、第1及び第2のガラス基板1,2に設けられた透明電極3a〜3hと、シリコンからなり外部で接地されている重り11の平面部分とでコンデンサが構成されるようになっている。そして、加速度又は角加速度が作用すると、支持梁8,10により支持されている重り11が変位し、その変位に応じて透明電極3a〜3hと重り11の平面部分との対向する面積が変化し、コンデンサの容量が変化することから加速度又は角加速度の検出が可能となっている。
請求項（抜粋）：
複数の電極が対向面側に設けられ、かつ、平行に対向する2枚の絶縁基板間に、半導体又は導体からなる重り部材が変位可能に設けられてなり、前記複数の電極と重り部材との間隔又は対向面積の変化に応じて生ずる前記複数の電極と重り部材との間の静電容量変化により加速度及び角加速度の検出を可能とした加速度センサであって、前記平行する2枚の絶縁基板間には、端面が前記2枚の絶縁基板に接合する支持柱を設け、前記支持柱には、前記2枚の絶縁基板に平行して延びる第1の梁部材を延設し、前記第1の梁部材の両端には枠状支持部材を設け、前記枠状支持部材の外周には、前記2枚の絶縁基板に平行し、かつ、前記第1の梁部材の方向に対して所定の角度をなす方向に第2の梁部材を延設し、前記第2の梁部材の両端に枠状の重り部材を設け、前記支持柱、前記第1の梁部材、前記枠状部材、前記第2の梁部材及び前記重り部材を半導体又は導体から一体形成すると共に、前記2枚の絶縁基板の対向方向における前記第1の梁部材、前記枠状部材、前記第2の梁部材及び前記重り部材の厚みを、前記支持柱の同方向における厚みに比して小としてなることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 A
