特許
J-GLOBAL ID：200903041408543146
粘性流体供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-244283
公開番号（公開出願番号）：特開平11-076897
出願日： 1997年09月09日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】本発明はノズルを用いて粘性流体を供給する構成とされた粘性流体供給装置に関し、基板に対し既定量の粘性流体を精度よく供給することを課題とする。【解決手段】粘性流体である接着剤14をノズル16から吐出させて基板40に供給する接着剤塗布装置(粘性流体供給装置)において、ノズル16に接着剤14が付着するのを防止する付着防止機構を設ける。具体的には、少なくともノズル16の吐出孔近傍に、付着防止機構として機能する撥水性部材42を配設する。
請求項（抜粋）：
粘性流体をノズルから吐出させて基板に供給する粘性流体供給装置において、前記ノズルに前記粘性流体が前記ノズルに付着するのを防止する付着防止機構を設けたことを特徴とする粘性流体供給装置。
IPC (5件)：
B05C 5/00 101
, B05D 7/00
, B05D 7/24 301
, H01L 21/52
, H01L 21/60 311
B05C 5/00 101
, B05D 7/00 H
, B05D 7/24 301 P
, H01L 21/52 G
, H01L 21/60 311 S
