特許

J-GLOBAL ID：200903041413851878

研磨布固定用両面粘着テープ

発明者： 菱田 誠
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-312658
公開番号（公開出願番号）：特開2001-131500
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】 両面粘着テープの片面にセパレータが貼付けられ、もう一方の面に研磨布が貼付けられた状態で巻回物として出荷されても、定盤に装着する際にセパレータの反発力により浮きが起こらない研磨布固定用両面粘着テープを提供する。【解決手段】 研磨布固定用両面粘着テープの両方の粘着面がセパレータによって保護され、定盤に貼付けられる粘着面側のセパレータがポリエチレンからなる。

請求項（抜粋）：

研磨材をポリシッングマシンの定盤に固定するための両面粘着テープであって、定盤に貼付けられる粘着面側のセパレータがポリエチレンからなることを特徴とする研磨布固定用両面粘着テープ。

IPC (3件)：

C09J 7/02 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

C09J 7/02 Z ,  B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 J

Fターム (13件)：

3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004CC02 ,  4J004DA02 ,  4J004DB02 ,  4J004EA01 ,  4J004EA05 ,  4J004FA08