特許
J-GLOBAL ID：200903041415508275
ベルト駆動型常圧CVD装置におけるベルト駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-203951
公開番号（公開出願番号）：特開平8-069971
出願日： 1994年08月29日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 ベルトが軌道ずれがなく、したがって半導体ウエハへの成膜が安定し、ダストも抑制でき、更にベルトの寿命を延ばすことができるベルト駆動型常圧CVD装置をうることを目的とする。【構成】 この発明のベルト駆動装置4は、成膜装置3を備えたベルト駆動型常圧CVD装置1において、メッシュ状ベルト41を案内、駆動する複数個のローラ42の少なくとも前記成膜装置3の出入口側に存在するローラ42A、42Gの両端部にベルト位置規制用鍔Rを形成している。
請求項（抜粋）：
成膜装置を備えたベルト駆動型常圧CVD装置において、メッシュ状ベルトを案内、駆動する複数個のローラの少なくとも前記成膜装置の出入口側に存在するローラの両端部にベルト位置規制用鍔を形成したことを特徴とするベルト駆動型常圧CVD装置におけるベルト駆動装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23C 16/44
, H01L 21/31
