特許
J-GLOBAL ID：200903041420095086
基板中心位置検出装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213225
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054595
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】検出対象となる基板に非接触で基板の損傷や汚染を防ぎながら、正確且つ迅速に基準位置に対する基板のずれ量を検出する。【解決手段】半導体ウェハ1 を保持するウェハチャック3 と、保持されたウェハ1 の周縁位置を非接触で検出する、該基板の基準位置の周縁に沿って等間隔配置された複数の発光受光部9a〜9cと、これら発光受光部9a〜9cの検出結果に基づいて、予め記憶している上記位置検出手段の検出結果と上記基板の中心位置との対応情報から、上記ウェハ1 の中心位置を算出する制御回路(11)とを備える。
請求項（抜粋）：
基板を保持する保持手段と、この保持手段により保持された上記基板の周縁位置を非接触で検出する、該基板の基準位置の周縁に沿って等間隔配置された複数の位置検出手段と、これら位置検出手段の検出結果に基づいて、予め記憶している上記位置検出手段の検出結果と上記基板の中心位置との対応情報から、上記基板の中心位置を算出する演算手段とを具備したことを特徴とする基板中心位置検出装置。
引用特許：
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