特許

J-GLOBAL ID：200903041421591869

X線検査装置用ステージ位置表示装置

発明者： 伊従 潔
出願人/特許権者： 日立電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201709
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062160
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 X線検査装置における、ステージ位置情報を簡単、安価かつ正確で見易く表示することを目的とする。【構成】 ステージに連結されたシリンダとガラス管と目盛板からなる表示装置との間を配管チューブで接続し、前記シリンダ、配管チューブ、ガラス管内に液体を充てんしたステージ位置表示装置

請求項（抜粋）：

X線を発生するX線発生装置と、被検査物体を透過したX線像を可視化する撮像装置と、被検査物体とX線発生装置及び撮像装置の相対的位置を可変する位置決めステージと、X線の漏洩を防止するX線シールド室を具備したX線検査装置において、位置決めステージにX線シールド室の外側まで引出されたチューブが接続されたシリンダを連結し、該シリンダ及びチューブ内に液体及び気体を充てんし、ステージの位置に応じて、チューブ内の液面位置を変化させるようにしたことを特徴とするX線検査装置用ステージ位置表示装置。