特許

J-GLOBAL ID：200903041425471140

回折格子およびその製造方法

発明者： 山口 幹夫 ,  三瓶 義広 ,  柴野 文彦
出願人/特許権者： 光計測技術開発株式会社
代理人 (1件)： 井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-075654
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264809
出願日： 1991年03月14日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】 LiNbO3 光導波路に深い回折格子を形成する。【構成】 プロトン交換 LiNbO3 光導波路2をエッチングする。【効果】 フィルタ特性の良好な回折格子が得られ、半導体レーザの外部共振器として利用できる。

請求項（抜粋）：

電気光学結晶基板の表面にプロトン交換を施し、このプロトン交換された部分をエッチングして回折格子を形成する回折格子の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/18 ,  H01S 3/08 ,  H01S 3/18