特許

J-GLOBAL ID：200903041436274347

弾性表面波装置の製造方法

発明者： 山本 大輔
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-253876
公開番号（公開出願番号）：特開2004-096350
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】高生産性、高信頼性の弾性表面波装置を得ることが可能な弾性表面波装置の製造方法を提供する。【解決手段】基体1の上面に枠体を取着させるとともに、該枠体の内側に位置する基体1の上面に、振動部3aを下面に有した弾性表面波素子3をフェースダウンボンディングにて実装する工程と、前記基体1を上下逆さにして前記弾性表面波素子3を液状樹脂槽に厚み方向の途中までディッピングし、弾性表面波素子3の下面と基体1上面との間に空気層5を形成しつつ前記枠体の開口部を液状樹脂で塞ぐ工程と、前記液状樹脂を、基体を逆さにした状態のまま硬化させることにより弾性表面波素子を樹脂層4で封止する工程と、を含む弾性表面波装置の製造方法である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基体の上面に枠体を取着させるとともに、該枠体の内側に位置する基体の上面に、振動部を下面に有した弾性表面波素子をフェースダウンボンディングにて実装する工程と、 前記基体を上下逆さにして前記弾性表面波素子を液状樹脂槽に厚み方向の途中までディッピングし、弾性表面波素子の下面と基体上面との間に空気層を形成しつつ前記枠体の開口部を液状樹脂で塞ぐ工程と、 前記液状樹脂を、基体を逆さにした状態のまま硬化させることにより弾性表面波素子を樹脂層で封止する工程と、を含むことを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。

IPC (2件)：

H03H3/08 ,  H03H9/25

FI (2件)：

H03H3/08 ,  H03H9/25 A

Fターム (5件)：

5J097AA24 ,  5J097AA33 ,  5J097HA04 ,  5J097JJ03 ,  5J097KK10