特許
J-GLOBAL ID：200903041450984497
露光装置、及び光学素子の位置調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-103107
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309789
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】光軸ずれを解消するように空間光変調素子の位置を微調整して、露光光量の低下を防止することができる露光装置を提供する。また、光学素子の位置を高精度に調整することができる光学素子の位置調整装置を提供する。【解決手段】露光装置の駆動時には、適宜のタイミングで「光軸合わせ」が実施される。相対する支持部材16bと16dとの間で所定の温度差を生じるようにペルチェ素子14bと14dとを制御して、DMD50を±x方向(図では左右方向)に移動させる。このときの光量検出センサの検出値をモニタリングして、露光面での光量が最大になる支持部材16bと16dの温度条件を求める。同様にして、DMD50を±y方向(図では上下方向)に移動させ、露光面での光量が最大になる支持部材16aと16cの温度条件を求める。支持部材16a〜16dの各々を、光量が最大になる温度に加熱する。これにより、露光面での光量が最大になるようにDMD50に位置が微調整される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
照明用の光ビームを出射する光源と、
各々制御信号に応じて光変調状態が変化する複数の画素部が2次元的に配列され、前記光源から前記複数の画素部に入射した光ビームを、前記画素部毎に変調する空間光変調素子と、
前記複数の画素部に対応するピッチで複数のマイクロレンズが2次元的に配列され、前記画素部により変調された光ビームを、前記マイクロレンズ毎に集光するマイクロレンズアレイと、
前記空間光変調素子と前記マイクロレンズアレイとの光軸が一致するように、前記空間光変調素子の位置を微調整する位置調整手段と、
とを備えた露光装置。
IPC (5件)：
G03F7/20
, G02B26/08
, G02B27/18
, G03F7/207
, H01L21/027
G03F7/20 505
, G02B26/08 E
, G02B27/18 Z
, G03F7/207 Z
, H01L21/30 529
2H041AA07
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AC07
, 2H041AZ03
, 2H041AZ06
, 2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097CA17
, 2H097KA29
, 5F046BA07
, 5F046CA03
, 5F046CB18
