特許
J-GLOBAL ID：200903041456071140
金属複合酸化物薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133047
公開番号（公開出願番号）：特開平6-340978
出願日： 1993年06月03日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 化学的気相堆積法によって反応特性の異なる金属アルコキシド化合物とβ-ジケトネート錯体を原料として金属複合酸化物薄膜を製造するにおいて薄膜特性の均一性を飛躍的に改善することができる金属複合酸化物薄膜の製造方法を提供する。【構成】 金属元素の揮発性アルコキシド化合物あるいはそれらの混合物と金属元素の揮発性β-ジケトナート錯体あるいはそれらの混合物および酸素ガスを原料ガスとして用いる化学的気相堆積法によるこれらの金属の複合酸化物薄膜製造方法であって、基板を回転させ、当該アルコキシド化合物あるいはそれらの混合物は基板に向かって複数の分散された供給口を有する装置によって供給され、当該β-ジケトナート錯体あるいはそれらの混合物は基板面とアルコキシド化合物ガス供給装置の供給口側が作り出す空間に横方向から向かう一つあるいは複数の原料供給口から供給されることを特徴とする金属複合酸化物薄膜の製造方法。
請求項（抜粋）：
金属元素の揮発性アルコキシド化合物あるいはそれらの混合物と金属元素の揮発性β-ジケトナート錯体あるいはそれらの混合物および酸素ガスを原料ガスとして用いる化学的気相堆積法によるこれら金属の複合酸化物薄膜の製造方法であって、基板を回転させ、当該アルコキシド化合物あるいはそれらの混合物は基板に向かって複数の分散された供給口を有する装置によって供給され、当該β-ジケトナート錯体あるいはそれらの混合物は基板面とアルコキシド化合物ガス供給装置の供給口側が作り出す空間に横方向から向かう一つあるいは複数の原料供給口から供給されることを特徴とする金属複合酸化物薄膜の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 16/40
, H01L 21/314
, H01L 21/316
