特許
J-GLOBAL ID：200903041468195716
物体位置検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-018336
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182896
出願日： 1992年01月06日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】被検物体に斜めから光を投影し、反射光の位置から該被検物体の位置計測を行う装置で、被検物体の構造に影響されない物体位置検出装置を得ること。【構成】被検物体に対し斜めに光線を照射し、該光線の反射光を検出して被検物体の位置を求める装置において、p及びs偏光成分を有する光線を照射する投射光学系と、その反射光を検出する検出光学系を備え、検出光学系内に各偏光成分を分離する光分割手段と、各偏光成分に対応した光検出器、各光検出器から得られる位置検出信号と、光量信号を演算する演算装置を具備し、演算装置によって得られる出力により物体の位置を決定すること。
請求項（抜粋）：
被検物体に対し斜めに光線を照射し、該光線の反射光を検出して前記被検物体の位置を求める物体位置検出装置において、p及びs偏光成分を有する前記斜め光線を照射する投射光学系と、前記反射光を検出する検出光学系を備え、該検出光学系に前記2つの偏光成分を分離する光分割手段と、分離された各偏光成分に対応した光検出器、該光検出器から得られる位置検出信号と光量信号を演算する演算装置を具備し、該演算装置によって得られる出力より物体の位置を決定することを特徴とする物体位置検出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 7/207
, H01L 21/66
