水素透過膜及びその作製方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加茂裕邦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-103695
公開番号（公開出願番号）：特開平11-286785
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】多孔質支持体に対してピンホールのない緻密なPd合金膜を形成してなる水素透過膜を得る。【解決手段】多孔質支持体の表面にPd合金膜を有する水素透過膜であって、該Pd合金膜が、該多孔質支持体の表面に対して無電解メッキ法又はイオンプレーティング法によりPd金属と該Pdと合金化する金属とをその最上層がPd層となるように交互に多層化層とした後、熱処理して形成されたPd合金膜であることを特徴とする水素透過膜及びその作製方法。

請求項（抜粋）：

多孔質支持体の表面にPd合金膜を有する水素透過膜であって、該Pd合金膜が、該多孔質支持体の表面に対して無電解メッキ法によりPd金属と該Pdと合金化する金属とをその最上層がPd層となるように交互に多層化層とした後、熱処理して形成されたPd合金膜であることを特徴とする水素透過膜。

IPC (5件)：

C23C 18/44 , B01D 71/02 500 , C01B 3/56 , C23C 14/14 , C23C 18/52

FI (5件)：

C23C 18/44 , B01D 71/02 500 , C01B 3/56 Z , C23C 14/14 G , C23C 18/52 B

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