特許

J-GLOBAL ID：200903041473858715

露光装置及びデバイスの製造方法

発明者： 杉田 充朗 ,  鈴木 章義
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118611
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031035
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 2光束干渉露光と投影露光を融合し、所定の形状のパターン像が容易に得られる露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】 多重露光モードを有する露光装置であって、該露光装置は照明系と投影系を有しており、該投影系は該多重露光モードのとき該照明系により照明されたマスクからの複数の光のうちの0次光を遮るフィルターを光路中に供給するフィルター供給手段を有し、該多重モード露光では該フィルターにより0次光を遮った状態で第1の露光を行ない、該0次光を遮らない状態で第2の露光を行っていること。

請求項（抜粋）：

多重露光モードを有する露光装置であって、該露光装置は照明系と投影系を有しており、該投影系は該照明系により照明されたマスクからの複数の光のうちの0次光を遮るフィルターを光路中に供給する供給手段を有し、該多重露光モードは、該フィルターにより0次光を遮った状態で行なう第1の露光と、該フィルターにより0次光を遮らない状態で行なう第2の露光を含むことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 502 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 A ,  H01L 21/30 515 D