特許
J-GLOBAL ID：200903041486202185
多軸レーザ干渉測長機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木 秀人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072290
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196623
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 NC工作機の各軸の測定を連続して自動的に行うこと【解決手段】 多軸干渉計14は、入射したレーザ光をそれぞれx,y,z軸方向に向けて反射させるための分光機構部及び各分光機構部の切替え機構を備えている。コンピュータ20は、計測プログラム内容に沿ってNCコントローラ22に順次駆動指令を与え、フライス盤Aを所定の手順により動作させ、光源部12で得た測長データと基準データとを比較して補正データを算出し、その校正値をNCコントローラ22に取込ませるほか、各軸の作業終了毎にコントローラ24を起動して多軸干渉計14の切替え機構を切替え動作させ、その計測軸方向を変換させる。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発射する光源部と、入射したレーザ光を分光させて、NC工作機の直交するx,y,z軸方向に向けて出射させるとともに、測定光と参照光の干渉光を送出する干渉計本体と、その切替え機構とを内蔵した多軸干渉計と、前記光源部と前記干渉計本体との間に設置され、前記光源部からのレーザ光を前記干渉計本体に導く光ファイバと、前記NC工作機の測定位置に固定されて、前記x,y,z軸方向に出射したレーザ光を受けて前記干渉計本体側に反射する複数の反射ターゲットと、前記干渉計本体からの干渉光を受光する受光部と、前記切替え機構を制御するコントローラと、前記x,y,z軸方向毎に前記NC工作機を所定の手順により動作させつつ、前記レーザーヘッドの受光部で得られる測長データと、予め設定される基準データとを比較し、前記NC工作機にその校正値を与えるとともに、前記x,y,z軸の測定終了毎に前記コントローラに切替え動作を指令する制御部とを備えたことを特徴とする多軸レーザ測長機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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