特許
J-GLOBAL ID:200903041498030584
圧電セラミックスおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-236746
公開番号(公開出願番号):特開平8-104568
出願日: 1994年09月30日
公開日(公表日): 1996年04月23日
要約:
【要約】【目的】 低温で焼結でき、焼結性がよく、その微細構造を制御したような圧電セラミックスとその製造方法を提供する。【構成】 圧電セラミックス粉末として組成がPb0.9Sr0.1(Mg1/3Nb2/3)0.255Ti0.38Zr0.365O3 の仮焼粉末を媒体撹拌ミルを用いて、直径0.6mmのジルコニア玉石と共に、有機系の分散剤及び水を加え、平均粒子径約0.2μmに粉砕したのち乾燥させ、造粒した。この粉体を、金型を用いて直径13mm、厚さ約1mmの円板状の成形体を作製し、通常の焼成温度よりも低温で2時間焼成し、微細構造を制御した圧電セラミックスを製造した。【効果】 本発明の構成の圧電セラミックスでは、媒体撹拌ミルによる微粉砕により焼成温度を低下させ微細構造を制御することにより、圧電セラミックスの圧電特性を向上させることができる。
請求項(抜粋):
セラミックスの平均粒径が0.5〜5μmであり、かつ粒径の分布が90%から100%の割合で前記範囲である0.5〜5μmの間に分布する圧電セラミックス。
IPC (3件):
C04B 35/49
, H01L 41/08
, H01L 41/24
FI (3件):
C04B 35/49 B
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/22 A
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平4-209762
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特開平1-298060
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特公昭47-035760
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