特許

J-GLOBAL ID：200903041498127901

流体コンテナ内で基板を処理するための装置および方法

発明者： ディートマー シェーンレーバー
出願人/特許権者： ステアーグ ミクロテヒ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-537649
公開番号（公開出願番号）：特表2000-500926
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】流体コンテナ(1)内で基板(3)を処理するための装置であって、基板(3)が、大きい寸法の場合でも、少なくとも1つの保持ストリップ(6)によって特に良好に保持され、前記保持ストリップ(6)が、基板(3)の上方の縁部領域に載置可能である。同様に、基板を処理するための方法も示されている。

請求項（抜粋）：

流体コンテナ(1)内で基板(3)を処理するための装置であって、流体コンテナ(1)内に基板(3)が、互いに間隔を保ってパッケージとして挿入可能であり、しかも保持ストリップ(6)がこれらの基板(3)の上方の縁部領域に載置可能である形式のものにおいて、 保持ストリップ(6)が、基板(3)の搬出および/または搬入工程の少なくとも1工程区間中に、これらの基板(3)上に位置していることを特徴とする、流体コンテナ内で基板を処理するための装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/304 648

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  H01L 21/304 648 D