特許
J-GLOBAL ID:200903041498127901
流体コンテナ内で基板を処理するための装置および方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-537649
公開番号(公開出願番号):特表2000-500926
出願日: 1997年03月26日
公開日(公表日): 2000年01月25日
要約:
【要約】流体コンテナ(1)内で基板(3)を処理するための装置であって、基板(3)が、大きい寸法の場合でも、少なくとも1つの保持ストリップ(6)によって特に良好に保持され、前記保持ストリップ(6)が、基板(3)の上方の縁部領域に載置可能である。同様に、基板を処理するための方法も示されている。
請求項(抜粋):
流体コンテナ(1)内で基板(3)を処理するための装置であって、流体コンテナ(1)内に基板(3)が、互いに間隔を保ってパッケージとして挿入可能であり、しかも保持ストリップ(6)がこれらの基板(3)の上方の縁部領域に載置可能である形式のものにおいて、 保持ストリップ(6)が、基板(3)の搬出および/または搬入工程の少なくとも1工程区間中に、これらの基板(3)上に位置していることを特徴とする、流体コンテナ内で基板を処理するための装置。
IPC (2件):
H01L 21/68
, H01L 21/304 648
FI (2件):
H01L 21/68 T
, H01L 21/304 648 D
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