特許
J-GLOBAL ID：200903041500905437
高周波型イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-094110
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290751
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 放電によりプラズマを発生させ、そのプラズマからイオンを引き出すイオン源において、フィラメント電極の寿命を延長し、イオン源を長時間安定して運転することを目的とする。【構成】 放電を起こすフィラメント電極を棒状とし、該電極に高周波電力を印加することにより放電プラズマを発生させるため、表皮効果により、フィラメント電極の表面のみを効率的に加熱することができる。この為、フィラメント電極の断面積を太くしても、何ら問題なく加熱することができ、フィラメントの寿命を大幅に延長することができる。
請求項（抜粋）：
放電によりプラズマを発生させ、そのプラズマからイオンを引き出すイオン源において、放電を起こすフィラメント電極を棒状とし、該電極に高周波電力を印加することにより放電プラズマを発生させ、このプラズマから引出電極によりイオンのみを引き出すことを特徴とする高周波型イオン源。
IPC (3件)：
H01J 27/18
, H05H 1/22
, H05H 7/08
