転がり軸受

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江原省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-205852
公開番号（公開出願番号）：特開平7-279973
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】特殊環境(真空高温、ガス雰囲気、清浄環境等)下で使用するのに好適な転がり軸受を提供する。【構成】この軸受は半導体製造工程におけるスパッタリング装置のウェーハ搬送系に組込まれるもので、回転軸に嵌着される内輪1と、ハウジング2の嵌合面に緩い嵌め合いすきまS(常温時のすきま)をもって嵌合される外輪3と、内・外輪1、3間に介在する複数のボール4と、ボール4を円周等間隔に保持する保持器5とで構成される。内輪1、ボール4および保持器5はステンレス鋼材で形成され、外輪3はポリイミド(PI)材で形成されている。

請求項（抜粋）：