特許
J-GLOBAL ID:200903041509345175

示差熱検出を行う湿度センサー及び検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 倉内 基弘 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-530045
公開番号(公開出願番号):特表2001-507799
出願日: 1997年12月12日
公開日(公表日): 2001年06月12日
要約:
【要約】水分応答性素子を測定環境に置き、素子の熱容量又は熱抵抗の温度係数を測定する、水分測定方法が提供される。系は、センサー素子を第一の温度と第二の温度との間でサイクルし、各温度におけるセンサー容量を得ることによって作動される。温度係数に相当するセンサー容量の差分は、予め作成された気体湿度又は露点対容量増分値の表と比較される。
請求項(抜粋):
少なくとも抵抗及び容量のいずれかを含む電気的特性を変化させることによって周囲湿度に応答する湿度応答表面膜を有する感知素子にして、該電気的特性を検出する検出回路中に該感知素子を設置するための電極を有する感知素子であって、 環境中の水分に応答するように感知環境に挿入されるように適合され;装置の出力が、係数の蓄積表を参照することによって該環境中の水分の測定値を提供する、該電気的特性の温度係数になるように、該電気的特性が測定されるときに、第一の温度T1とそれと異なる第二の温度T2との間に該感知素子を作動するように形成された温度制御素子をさらに包含する感知素子を包含する、湿度測定用の湿度感知装置。
IPC (3件):
G01N 25/64 ,  G01N 25/66 ,  G01N 27/02
FI (3件):
G01N 25/64 D ,  G01N 25/66 B ,  G01N 27/02 A

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