特許
J-GLOBAL ID：200903041514142924
炉心管
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269523
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109639
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】 炉心管内のガスの流れを変更することによりウェハー上での酸化膜厚を均一にする。【構成】 炉心管1の内側壁面に螺旋状の突起6を付けることにより、ガスの流れをウェハーに対して平行方向に変更し、ウェハーに生ずる酸化膜厚を均一にする。
請求項（抜粋）：
半導体集積回路の製造プロセスで用いられる炉心管であって、炉心管本体の内側壁面に、螺旋状の突起を有することを特徴とする炉心管。
IPC (2件)：
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