特許

J-GLOBAL ID：200903041518379880

酸化層厚さ計測装置およびその計測方法

発明者： 久保 貴博 ,  高木 圭介 ,  犬飼 隆夫
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (4件)： 波多野 久 ,  関口 俊三 ,  猿渡 章雄 ,  古川 潤一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-025261
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233305
出願日： 2003年01月31日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

【課題】酸化層の厚さを非破壊的に計測し、計測精度をより一層向上させる酸化層厚さ計測装置およびその計測方法を提供する。【解決手段】本発明に係る酸化層厚さ計測装置は、周波数10-40GHzの電磁波を発生させて、かつ被検体表面から反射された電磁波を受波するネットワークアナライザ1と、電磁波を被検体表面に照射する酸化層厚さ計測ヘッド2と、被検体表面で反射してネットワークアナライザ1に受波された電磁波から被検体表面の酸化層厚さを演算する酸化層厚さ演算装置3とを備えた。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

周波数10-40GHzの電磁波を発生させて、かつ被検体表面から反射された電磁波を受波するネットワークアナライザと、電磁波を被検体表面に照射する酸化層厚さ計測ヘッドと、被検体表面で反射してネットワークアナライザに受波された電磁波から被検体表面の酸化層厚さを演算する酸化層厚さ演算装置とを備えたことを特徴とする酸化層厚さ計測装置。

IPC (3件)：

G01B15/02 ,  F02C7/00 ,  G01N22/00

FI (5件)：

G01B15/02 C ,  F02C7/00 A ,  G01N22/00 S ,  G01N22/00 U ,  G01N22/00 W

Fターム (9件)：

2F067AA27 ,  2F067BB15 ,  2F067CC12 ,  2F067DD08 ,  2F067HH02 ,  2F067JJ02 ,  2F067KK08 ,  2F067RR26 ,  2F067SS04