特許

J-GLOBAL ID：200903041520575859

薄膜磁気ヘッド

発明者： 木田 音次郎 ,  藤田 浩之
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-042442
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217118
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【構成】磁性膜、コイル、絶縁膜および保護膜を支持する基板が重量%でβ-Si3 N4 75〜30%とTiN 25〜70%から構成されている。およびこの基板に支持されている絶縁膜および又は保護膜がサイアロンで構成された薄膜磁気ヘッド。【効果】本発明薄膜磁気ヘッド材料は摺動性、耐摩耗性、高靭性、高熱伝導度、機械加工性に優れ、電気的性質としても比抵抗が小さく摩擦帯電性も小さい。サイアロン膜はこのような基板に対する絶縁膜、保護膜として耐摩耗性、接着性に極めて優れたもの。

請求項（抜粋）：

基材材料がβ-Si3N4 とTiN を主成分とすることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。

IPC (3件)：

G11B 5/31 ,  C04B 35/58 101 ,  C04B 35/58 102