特許

J-GLOBAL ID：200903041528888236

プラスチック基板表面の硬化保護膜の形成方法

発明者： 村田 正義 ,  宇佐美 正博
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-064554
公開番号（公開出願番号）：特開平6-212430
出願日： 1991年03月28日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：

【要約】【目的】 高硬度、耐摩耗性及び耐擦傷性などが要求されるプラスチック基板表面の硬化保護膜の形成方法。【構成】 反応容器内で反応ガスをプラズマ化しプラスチック基板表面に硬化保護膜を形成させるに当たり、先ず反応ガスとしてシロキサン又はエトキシシランガスを用い、該ガスのプラズマによりプラスチック基板表面にSi-0-C系膜を下地として成膜し、次に上記ガスとO2 の混合ガスのプラズマにより該Si-0-C系膜上にSiO2 膜を形成させるプラスチック基板表面の硬化保護膜の形成方法。

請求項（抜粋）：

反応容器内で反応ガスをプラズマ化しプラスチック基板表面に硬化保護膜を形成させるに当たり、先ず反応ガスとしてシロキサン又はエトキシシランガスを用い、該ガスのプラズマによりプラスチック基板表面にSi-O-C系膜を下地として成膜し、次に上記ガスとO2 との混合ガスのブラズマにより該Si-O-C系膜上にSiO2 膜を形成させることを特徴とするプラスチック基板表面の硬化保護膜の形成方法。

IPC (3件)：

C23C 16/30 ,  B32B 27/00 101 ,  C23C 16/40