特許
J-GLOBAL ID：200903041529171580
静電吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-279570
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121529
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：
【要約】【目的】 ウエハが吸着台から剥離したことを検出できるウエハ剥離検出装置を備えた静電吸着装置を提供する。【構成】 ウエハ1を静電吸着している吸着台3の印加電圧を解除後、ウエハ1の表面1aに付勢して当接する表面側電極針7aを上昇させ分離すると、ウエハ1には裏面側電極針8aのバネ11aによる付勢力が下方から加わる。ウエハ1と吸着台3間の残留吸着力がバネ11aによる付勢力よりも小となると、裏面側電極針8aがウエハ1を押し上げる。ウエハ1が吸着台3から剥離したと想定される位置まで裏面側電極針8aが移動すると、ストッパー8dと電極12dが接触する。この接触を電気的に監視し、ウエハ1が剥離したこと検出する。
請求項（抜粋）：
ウエハの裏面を静電吸着する吸着台と、前記吸着台に吸着されたウエハの表面に第1の付勢力で当接し、前記ウエハの電荷を放電する表面側電極部材と、前記吸着台に吸着されたウエハの裏面に第2の付勢力で当接し、前記ウエハの電荷を放電する裏面側電極部材と、前記表面側電極部材と前記ウエハとを分離する分離手段と、を有する静電吸着装置において、前記吸着台によるウエハの吸着を解除した後、前記裏面側電極部材が所定量移動したことを検出する移動量検出手段を設けたことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65H 5/00
, H01L 21/66
