管形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104826
公開番号（公開出願番号）：特開平11-290679
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、微細加工技術を用いて、3次元構造物である管、とりわけ微小な管を形成する、部材の材質、平滑度への制約の低い方法を得ることである。【解決手段】上記の課題を克服するために、管形成方法を、基板に溝を形成する工程と、前記基板の溝を形成した面に充填層を形成する工程と、前記充填層の一部を除去する工程と、前記基板の溝を形成した面を被覆する工程と、前記溝内の前記充填層を除去する工程と、から構成した。

請求項（抜粋）：

基板に溝を形成する工程と、前記基板の溝を形成した面に充填層を形成する工程と、前記充填層の一部を除去する工程と、前記基板の溝を形成した面を被覆する工程と、前記溝内の前記充填層を除去する工程と、から構成されることを特徴とする管形成方法。

IPC (2件)：

B01J 19/12 , H01L 21/3065

FI (2件)：

B01J 19/12 F , H01L 21/302 J

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