特許

J-GLOBAL ID：200903041531227437

アライメント方法

発明者： 福本 博文
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-130351
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330205
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 多くの時間,労力を必要とせず、装置をストップさせることがなく生産効率のよいアライメント方法を提供する。【構成】 フォトリソグラフィ工程におけるアライメント方法において、まず、被アライメントレイアーを露光した露光装置の投影レンズのディストーションを測定する(ステップS1)。次に、被アライメントレイアーに形成されたアライメントマークの位置を測定し(ステップS2)、その位置でのディストーションエラー値を求める(ステップS3)。次に、求めたディストーションエラー値をオフセット値として露光装置にあらかじめ入力する(ステップS4)。

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィ工程におけるアライメント方法であって、露光装置の投影レンズのディストーションを測定する工程と、被アライメントレイアーに形成されたアライメントマークの位置を測定する工程と、前記アライメントマークの位置におけるディストーションエラー値を求める工程と、前記ディストーションエラー値をオフセット値として露光装置に入力する工程とを含むことを特徴とするアライメント方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  G03F 9/02

FI (6件)：

H01L 21/30 525 W ,  G03F 9/00 H ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 521 ,  H01L 21/30 525 X