特許

J-GLOBAL ID：200903041532916902

基板搬送アーム及び基板搬送方法

発明者： 今岡 哲夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-191643
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009129
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 異なる温度で複数の処理が連続して同一装置内で行われる場合でも、基板に歪みを生ぜずまた基板を破損することのない基板搬送アームならびに基板搬送方法を提供する。【解決手段】 基板保持部1に載置された熱処理直後の基板3の温度を、基板温度測定用熱電対4によって測定し、また、基板保持部温度測定用熱電対5によって基板保持部1の温度を測定し、測定されたそれぞれの温度データを温度データ収集装置に収集し、これらの温度データを比較演算装置に転送し所望の基板保持部温度とするための最適な温度を算出し、算出された温度データは装置コントローラーから温度調節器コントローラーに基板保持部温度調節器の温度調整指示を出し、基板搬送アームの温度調整を行う。

請求項（抜粋）：

基板保持部と基板保持部取り付け軸を有する基板搬送アームにおいて、基板保持部に基板温度及び基板保持部温度を測定する手段を備えていることを特徴とする基板搬送アーム。

IPC (10件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/458 ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (11件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/00 F ,  B25J 15/08 Z ,  B65G 49/07 C ,  C23C 14/50 K ,  C23C 14/50 E ,  C23C 16/44 F ,  C23C 16/458 ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Fターム (29件)：

3F061AA01 ,  3F061BA00 ,  3F061BA03 ,  3F061BE02 ,  3F061DB04 ,  4K029DA08 ,  4K029EA08 ,  4K029JA01 ,  4K030GA01 ,  4K030GA12 ,  4K030JA10 ,  4K030KA23 ,  4K030KA41 ,  5F004AA06 ,  5F004BB18 ,  5F004BC06 ,  5F004CA04 ,  5F031CA02 ,  5F031GA36 ,  5F031GA37 ,  5F031JA46 ,  5F031MA23 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F045DQ10 ,  5F045DQ17 ,  5F045EN04 ,  5F045GB11 ,  5F045HA24