特許
J-GLOBAL ID：200903041536641541
被検出材の表面プロフィール検出方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
溝上 満好 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-252263
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074730
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 被検出材の表面粗さと略同じ大きさの検出しようとする微小欠陥を、個人差なく、明瞭に顕在化させて検出する。【構成】 被検出材12を載置してあるステージ11を水平面方向における移動機構によって被検出材12の水平面方向に所定距離だけ移動させつつ、それぞれの位置で焦点法により表面高さ量検出装置15で被検出材12の表面高さを検出する動作を繰り返し行うことで、被検出材12の表面プロフィールを3次元で検出する方法において、表面高さ量検出装置15の焦点範囲を被検出材12の表面粗さ12aより大きく、かつ微小欠陥12bより小さくなして被検出材12の表面プロフィールを検出し、信号処理装置14で被検出材12表面の3次元図を作成する。
請求項（抜粋）：
被検出材を載置してあるステージを被検出材の水平面方向に所定距離だけ移動させつつ、それぞれの位置で焦点法により被検出材の表面高さを検出する動作を繰り返し行うことで、被検出材の表面プロフィールを3次元で検出する方法において、被検出材の表面粗度より大きく、かつ微小表面欠陥より小さくなした焦点範囲で被検出材の表面プロフィールを検出することを特徴とする被検出材の表面プロフィール検出方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01N 21/00
, G01N 21/88
