特許
J-GLOBAL ID：200903041539506750
位相差測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-155854
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062253
出願日： 1997年05月28日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】装置がコンパクトであり、且つ測定精度が高い位相差測定装置を提供する。【解決手段】光源1からの光を偏光子2aと位相板2bの順に導き、該偏光子2aと位相板2bとを、光軸zを中心とした少なくとも2つの異なる角度位置に一体として回転可能に配置し、位相板2bからの偏光3を被検物4に導き、該被検物4を透過し又は被検物4によって反射した偏光5を、光軸zを中心として回転可能に配置した検光子6に導き、該検光子6からの光の強度を測定する光検出器7を設け、該光検出器7の出力に基づいて、被検物4の透過又は反射における互いに直交する2つの直線偏光の間の位相差φ0を測定することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
光源からの光を偏光子と位相板の順に導き、該偏光子と位相板とを、光軸を中心とした少なくとも2つの異なる角度位置に一体として回転可能に配置し、前記位相板からの偏光を被検物に導き、該被検物を透過し又は被検物によって反射した偏光を、光軸を中心として回転可能に配置した検光子に導き、該検光子からの光の強度を測定する光検出器を設け、該光検出器の出力に基づいて、前記被検物の透過又は反射における互いに直交する2つの直線偏光の間の位相差を測定する位相差測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 4/04 A
, G01M 11/00 T
