特許
J-GLOBAL ID:200903041541417927

帯電粒子量評価装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-285360
公開番号(公開出願番号):特開2008-102037
出願日: 2006年10月19日
公開日(公表日): 2008年05月01日
要約:
【課題】結露が発生しやすい環境下でも精度の高い帯電粒子量の評価が行える帯電粒子量評価装置を提供する。【解決手段】帯電粒子量評価装置1は、円柱状の内側導体2aおよび内側導体2aよりも径の大きい円筒状の外側導体2bを同心に配置して構成される同心円筒状電極2と、両導体2a,2bの間の空間に同心円筒状電極2の軸方向に層流を発生させる吸気ファン3と、両導体2a,2b間に電圧を印加する電圧源5と、両導体2a,2b間に流れる電流を測定する電流計4と、電流計4の測定値を取得する電流値取得部12と、層流の流路の壁面をなす両導体2a,導体2bに発生する結露の有無を検出する結露検出部16と、結露検出部16で結露無しと検出された場合に、同心円筒状電極2の形状および寸法と吸気ファン3による層流の流量と電圧源5の印加電圧と電流値取得部12が取得した電流値とに基づいて帯電粒子量を評価する粒径算出部15とを具備する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
円柱状の内側導体および内側導体よりも径の大きい円筒状の外側導体を同心に配置して構成された同心円筒状電極と、内側導体と外側導体との間の空間に同心円筒状電極の軸方向に層流を発生させる気流発生手段と、内側導体と外側導体との間に電圧を印加する電圧印加手段と、内側導体と外側導体との間に流れる電流を測定する電流測定手段と、層流の流路の壁面をなす内側導体および外側導体に発生する結露の有無を検出する結露検出手段と、当該結露検出手段により結露無しと検出された場合に、同心円筒状電極の形状および寸法と気流発生手段による層流の流量と電圧印加手段による印加電圧と電流測定手段の測定結果とに基づいて帯電粒子量を評価する帯電粒子量評価手段とを具備したことを特徴とする帯電粒子量評価装置。
IPC (2件):
G01N 15/02 ,  G01N 27/60
FI (2件):
G01N15/02 F ,  G01N27/60 C
Fターム (3件):
2G041BA02 ,  2G041BA15 ,  2G041BA17
引用特許:
出願人引用 (1件)

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