特許
J-GLOBAL ID：200903041551319605

多結晶MgO蒸着材及びその製造方法

発明者：
佐々木 博

佐々木 博 について

, 
竹之内 武義

竹之内 武義 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186126
公開番号（公開出願番号）：特開平11-029857
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】電子ビーム法にて蒸着しても、スプラッシュが殆ど発生せずかつ成膜されるMgO膜の厚さを略均一に形成できる。【解決手段】本発明の多結晶MgO蒸着材はMgO純度が99.5%以上かつ相対密度が96%以上の多結晶MgOの焼結体ペレット11からなり、このペレット11がエッジレスに又はエッジに丸みを付けて形成される。またペレット11の結晶粒径は1〜500μmである。更にペレット11に含まれる、Si及びAlの不純物がそれぞれ元素濃度で200ppm以下、Caの不純物が元素濃度で250ppm以下、Zrの不純物が元素濃度で150ppm以下、Feの不純物が元素濃度で50ppm以下、Cr,V及びNiの不純物がそれぞれ元素濃度で10ppm以下、Na及びKの不純物がそれぞれ元素濃度で20ppm以下、Cの不純物が元素濃度で70ppm以下である。
請求項（抜粋）：
MgO純度が99.5%以上かつ相対密度が96%以上の多結晶MgOの焼結体ペレット(11,31,51,71)からなり、前記ペレット(11,31,51,71)がエッジレスに又はエッジに丸みを付けて形成された多結晶MgO蒸着材。
IPC (6件)：
C23C 14/34 ,  C01F 5/02 ,  C04B 35/04 ,  G02F 1/1333 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/30 348
FI (7件)：
C23C 14/34 A ,  C23C 14/34 B ,  C01F 5/02 ,  G02F 1/1333 ,  G09F 9/00 342 C ,  G09F 9/30 348 Z ,  C04B 35/04 Z
引用特許：
審査官引用 (6件)
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