特許
J-GLOBAL ID:200903041553379648

位置決め方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 住吉 多喜男 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-296554
公開番号(公開出願番号):特開2001-113420
出願日: 1999年10月19日
公開日(公表日): 2001年04月24日
要約:
【要約】【課題】 セルとなった状態での処理を簡便に、そして、短時間で行うための位置決め方法及び位置決め装置を提供する。【解決手段】 複数の処理部品9をトレイ1の窪み11に載せ、そして、トレイ1に対向させたトレイ蓋2の押当部21を押し当ててトレイの窪み11の一隅に固定して位置決めする位置決め方法。複数の処理部品9を載せる窪み11を有するトレイ1と、トレイ1に対向するとともに、処理部品9に押し当ててトレイの窪み11の一隅に固定する凸部21を有するトレイ蓋2と、を備える位置決め装置。
請求項(抜粋):
複数の処理部品をトレイの窪みに載せ、そして、該トレイに対向させたトレイ蓋の押当部を該処理部品に押し当ててトレイの窪みの一隅に固定して位置決めする位置決め方法。
IPC (3件):
B23P 19/00 301 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68
FI (4件):
B23P 19/00 301 D ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 U
Fターム (12件):
2H088EA03 ,  2H088FA10 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA25 ,  2H088HA06 ,  2H088MA20 ,  3C030AA15 ,  5F031CA05 ,  5F031DA05 ,  5F031KA02

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